メーカー | 機種名 | 加熱 ゾーン数 |
N2対応 | 工場 | |
---|---|---|---|---|---|
茨城 | 長崎 | ||||
EIGHTECH | NIS-20-82-C | 8 | ○ | 12 | 0 |
AIS-20-82C | 8 | × | 0 | 1 | |
千住金属 | SAI-838 | 8 | × | 0 | 1 |
SAI-838 | 8 | ○ | 1 | 1 | |
タムラ | TNR30-587PH | 7 | ○ | 1 | 3 |
日本アトム | 8310IRTPS | 8 | × | 2 | 1 |
工場 | メーカー | 機種 |
---|---|---|
茨城工場 | タムラ製作所 | HC33-39NF(N2対応) |
KOKI | MDR-250N-N2(N2対応) | |
日本電熱計器 | LG300XL | |
長崎工場 | タムラ製作所 | HC33-39NF(N2対応) |
窒素分離装置を各工場に設置済み